COBRA DS 3181 C suha vakuumska pumpa s integriranim vakuumskim pojačivačem razvijena je za zahtjevne procese kao što su kemijsko taloženje iz pare, brza termička obrada i taloženje atomskog sloja. Visoke performanse, kompaktan dizajn i učinkovito indirektno hlađenje vodom omogućuju pouzdan rad u naprednim industrijskim primjenama.
Tehnički podaci
| Nazivna brzina pumpanja | 3500 m³/h |
| Granični tlak | 0,001 hPa (mbar) |
| Nazivna snaga motora povratne pumpe | 18,5 kW |
| Nazivna snaga motora vakuumskog pojačivača | 15,0 kW |
| Nazivna brzina motora povratne pumpe | 4320 min⁻¹ |
| Nazivna brzina motora vakuumskog pojačivača | 5400 min⁻¹ |
| Razina buke (ISO 2151) | < 75 dB(A) |
| Potrošnja vode | min. 10 l/min |
| Potrošnja dušika | 0 – 200 l/min |
| Težina | cca. 1500 kg |
| Dimenzije (D × Š × V) | 1654 × 722 × 1452 mm |
| Ulaz / izlaz plina | DN 160 / DN 63 |
Tržišta i primjene
Prikaz
- Komore za blokiranje opterećenja
Poluvodič
- ALD
Solarni
- Proizvodnja ćelija
Pribor
- Dostupna je i opcionalna verzija za proces s prahom