COBRA DS 5161/9161 B suhe vijčane vakuumske pumpe s integriranim vakuumskim pojačivačem razvijene su za zahtjevne procese koji zahtijevaju visoke brzine pumpanja i visok protok vodika. Napredni dizajn vijka, učinkovito indirektno vodeno hlađenje i kompaktan dizajn omogućuju pouzdan rad u procesima kemijskog taloženja iz pare, brze termičke obrade i taloženja atomskog sloja.
Tehnički podaci
| Nazivna brzina pumpanja | 4300 m³/h (COBRA DS 5161 B), 6220 m³/h (COBRA DS 9161 B) |
| Granični tlak | 0,001 hPa (mbar) (COBRA DS 5161 B), 0,001 hPa (mbar) (COBRA DS 9161 B) |
| Nazivna snaga motora povratne pumpe | 15 kW (COBRA DS 5161 B), 15 kW (COBRA DS 9161 B) |
| Nazivna snaga motora vakuumskog pojačivača | 15 kW (COBRA DS 5161 B), 20 kW (COBRA DS 9161 B) |
| Potrošnja energije pri krajnjem tlaku / u stanju mirovanja | 11,5 / 9 kW (COBRA DS 5161 B), 13 / 11 kW (COBRA DS 9161 B) |
| Nazivna brzina motora povratne pumpe | 3600 min⁻¹ (COBRA DS 5161 B), 3600 min⁻¹ (COBRA DS 9161 B) |
| Nazivna brzina motora vakuumskog pojačivača | 3000 min⁻¹ (COBRA DS 5161 B), 3000 min⁻¹ (COBRA DS 9161 B) |
| Razina zvučnog tlaka (ISO 2151), KpA = 3 dB | < 75 dB(A) (COBRA DS 5161 B), < 75 dB(A) (COBRA DS 9161 B) |
| Potrošnja vode | min. 15 l/min (COBRA DS 5161 B), min. 14 l/min (COBRA DS 9161 B) |
| Potrošnja dušika | 0 – 200 l/min (COBRA DS 5161 B), 0 – 200 l/min (COBRA DS 9161 B) |
| Težina | cca. 1500 kg (COBRA DS 5161 B), 1875 kg (COBRA DS 9161 B) |
| Dimenzije (D × Š × V) | 1550 × 722 × 1452 mm (COBRA DS 5161 B), 1567 × 810 × 1615 mm (COBRA DS 9161 B) |
| Ulaz / izlaz plina | DN 200 / DN 63 (COBRA DS 5161 B), DN 200 / DN 63 (COBRA DS 9161 B) |